|
|
[ На предыдущую главу]
Экспериментальная часть
CVD-процесс проводился в вертикальном реакторе проточного типа (схема CVD-реактора представлена на рис. 1), изготовленном из молибденового стекла и состоящем из двух зон: низкотемпературной (испаритель – (1), длина = 100мм) и высокотемпературной (реакционная камера – (2), длина = 200мм). В высокотемпературной зоне располагалась керамическая подложка (6), а в низкотемпературной – исходное вещество – реактивный гексакарбонил молибдена Мо(СО)6 – (3).
При выборе Мо-содержащего соединения предпочтение было отдано Мо(СО) 6, поскольку данное вещество (при небольших его исходных количествах) обеспечивает достаточную концентрацию паров при переходе в газовую фазу, при невысокой температуре испарения (tисп.нач. = 40°С; tразл.нач. = 150°C), и практически не дает побочных реакций [6].
Реакция термораспада гексакарбонила Мо имеет вид [6] :
Мо(СО) 6 ® Мо + 6СО .
Пары Мо(СО) 6 подводились с помощью газа-носителя, в качестве которого использовался азот (N2) высокой чистоты (99,999%vol.).
В качестве подложки использовали пористые керамические трубки (6) со следующими характеристиками: a -Al2O3 – корунд; наружный диаметр = 7,4–7,8 мм; толщина стенки = 1–1,2 мм; длина = 8–10 мм; уд. поверхность = 0,1 м2/г; открытая пористость = 43–45%; преобладающий радиус пор = 0,3 мкм.
[ На следующую главу] [На Содержание]
Copyright ©
|
|
|
|
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.
Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается копирование
материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору
|