 |
|
|
10.МБ.174. Водородные сенсоры на основе каталитических металлов
Беклемышев В.И., Березкин В.А., Махонин И.И., Шкуропат И.Г., Шокин А.Н., Певгов В.Г., Семенов А.В. Всерос. конф. с междунар. участием "СЕНСОР-2000. Сенсоры и микросистемы", Санкт-Петербург, 21-23 июня, 2000: Тез. докл. СПб. 2000, с. 145. Рус.
Разработаны и изготовлены преобразователи конц-ии водорода в электрич. сигналы (водородные сенсоры) на основе микроэлектронной и микромех. (мембранной) технологий. Конструкция кристалла содержит кремниевую рамку-основание размером 3´3 мм, на к-рой сформирована тонкая (1,5-2 мкм), многослойная (от 3 до 12 слоев), термокомпенсир. (106 термоциклов 20-400ºC), диэлектрич. (Si3N4, SiO2, Si) МБ, к-рая является достаточно прочной (выдерживает сквозные проколы без разрушения) и термостойкой (выдерживает разовые импульсные нагревы до 1000ºC). Центральная часть МБ размером 1,4´1,4 мм2 является носителем функциональных элементов сенсора. Контактные площадки расположены на периферии. Сенсор размещен в станд. корпусе ТО-5.
Ключевые слова: акк мембраны неорганические% н многослойные, получение% акк сенсоры% н водородные% акк металлы% н каталитич.% акк кремний диоксид% асп кремний% п нитриды% акк кристаллы% н на кремниевой рамке-основании% акк мембранная технология% акк микроэлектронная технология% акк электрохимические преобразователи% н конц-ии водорода в электрич. сигналы
|
|
|
|
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.
Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается копирование
материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору
|
