|
В.Н. Варакин, Ю.Я. Кузяков
Использование пироэлектрического приемника
для изучения процесса синтеза пленок нитрида углерода методом импульсного лазерного
осаждения
Реферат
Впервые
быстродействующий пироэлектрический приемник использован для изучения синтеза
пленок методом импульсного лазерного осаждения (ИЛО). Измерения осуществляли в
реальных условиях осаждения пленок нитрида углерода. Исследована динамика
осаждения частиц и индуцированного ими нагрева подложки. Показано, что в
двухимпульсном режиме ИЛО реализуются эффективная доставка прекурсорных молекул
из газовой фазы на подложку и новый канал синтеза молекул CN.
 Полный текст статьи в формате PDF
Вестник Московского Университета.
Химия 2011, том 52, № 1, стр. 67-73
Copyright (C) Химический факультет МГУ, 2011
|
