А.Н. Шатохин, Ф.Н. Путилин, М.Н. Румянцева, А.М. Гаськов
Газочувствительность к водороду
тонких пленок диоксида олова, поверхностно легированых лазерной плазмой платины
различной структуры и зарядового состава
Реферат
Исследовано влияние структуры и зарядового состава лазерной плазмы Pt
при поверхностном легировании тонких пленок SnO2 на их резистивную
газочувствительность к водороду. Структура и зарядовый состав плазмы изменялись
в зависимости от величины и полярности потенциала (UD)
неоднородного электростатического поля, создаваемого между мишенью и пластинами
диафрагмы, расположенной в вакуумной камере вне зоны разлета плазмы при
воздействии излучения Kr-F-лазера на платиновую мишень. Легирование при UD
> 0 вызывает увеличение газочувствительности пленок SnO2
в несколько раз большее, чем легирование квазинейтральной плазмой (UD
= 0). Пленки, легированные при UD < 0 с оптимальными по максимуму
газочувствительности поверхностными концентрациями Pt, оказываются
нечувствительными к изменению состава газовой фазы в температурном диапазоне
50–600°С.
Полный текст статьи в формате PDF
Вестник Московского Университета.
Химия 2009, том 50, № 6, стр. 468-471
Copyright (C) Химический факультет МГУ, 2009
|