 |
|
|
|
Таблица 1
Травление ПП T2372 в различных средах; пленка облучена ионами ксенона
(плотность пор 10 8 см–2)
|
№ |
Состав травящего
раствора |
Температура травления,
°
С |
Время травления,
мин |
Толщина после обработки,
мкм |
Эффективный диаметр пор,
мкм |
|
1 |
Раствор H 2SO4 с
r
= 1,44 г/cм3
+ 50 г/л K2Cr2O7 |
60
80
|
120
70
|
9,6
9,6
|
0,10
0,10
|
|
2 |
Раствор H 2SO4 с
r
= 1,30 г/cм3
+ 250 г/л CrO3 |
80
90
|
10
6
|
9,7
9,7
|
0,15
0,15
|
|
3 |
Водный раствор
CrO 3, 1000 г/л |
60
80 |
30
10 |
9,8
9,8 |
0,30
0,25 |
|
4 |
Раствор H 2SO4 с
r
= 1,83 г/cм3
+ 25 г/л KMnO4 |
20
30
|
180
150
|
8,0
8,2
|
поры не обнаружены
|
|
5 |
Раствор H 3PO4 с
r
= 1,69 г/cм3
+ 20 г/л KMnO4 |
25
30
|
150
120
|
8,4
8,5
|
поры не обнаружены
|
|
6 |
H2O2
(r
= 1,11 г/см3) |
60 |
90 |
10 |
поры не обнаружены |
|
7 |
HClO3
(r
= 1,08 г/см3) |
50 |
120 |
10 |
поры не обнаружены |
|
8 |
(NH4)2S2O8, 20% |
85 |
60 |
10 |
поры не обнаружены |
Copyright ©
|
|
|
|
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.
Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается копирование
материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору
|
