 |
|
|
20.МБ.218. Мультисенсорные системы на основе полупроводниковых трансдъюсеров с лазерным сканированием
Ермоленко Ю. Е., Колодников В. В., Мурзина Ю. Г., Легин К. А., Йошинобу Т., Шонинг М. Дж., Власов Ю. Г.. Международный Форум "Аналитика и аналитики", Воронеж, 2-6 июня, 2003: Каталог рефератов и статей. Т. 1. Воронеж. [2003], с. 68. Рус.
Настоящее исследование посвящено разработке мультисенсорной системы, расположенной на одном полупроводниковом субстрате Si/SiO2/Si3N4 в виде тонкослойной чувствительной мембраны на основе халькогенидных стекол или полимерных пленок. Важной особенностью разработанной мультисенсорной системы является: впервые предложенный метод получения тонкослойных чувствительных мембран с градиентом физико-химических характеристик вдоль поверхности мембраны; и возможность считывания смешанных потенциалов в различных точках поверхности "градиентной" мембраны сканирующим лучом лазера.
Ключевые слова: АКК сенсоры, н системы, мульти, АКК полупроводники, н трансдьюсеры, н с лазерным сканированием, АКК мембраны, н тонкослойные, чувствительные, н композиционные, к кремний, к кремний диоксид, к кремний нитрид
|
|
|
|
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.
Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается копирование
материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору
|
