 |
|
|
12.МБ.312. Способ и оборудование для регенерации отработанных проявляющих композиций для фоторезистов
Proces and equipment for rejuvenation treatment of photoresist development waste. Пат. 6083670 США, МПК7 G 03 C 5/31. Organo Corp., Sugawara Hiroshi, Henmi Hiromi. № 09/217280; Заявл. 21.12.1998; Опубл. 04.07.2000; Приор. 05.01.1998, № 10-010025 (Япония); НПК 430/399. Англ.
После проявления фоторезистных материалов [напр., материалов, используемых в произ-ве полупроводниковых устр-в, жидкокрист. дисплеев или печатающих пластин] отработанные проявляющие композиции, содерж. остатки фоторезиста и ионы тетраалкиламмония, подвергают регенерации посредством мембранного разделения с применением нанопористых МБ с последующим концентрированием и очисткой р-ров электродиализом (или электролизом), либо очисткой с применением катионообм. и анионообм. смол. Приведена схема технол. процесса регенерации отработанных обрабатывающих композиций.
Ключевые слова: акк фоторезисты% н проявление% акк фотографические проявители% н отработанные, содерж. остатки фоторезиста и ионы тетраалкиламмония% н регенерации% акк разделение% н мембранное% акк концентрирование% акк мембраны пористые% н нанопористые% акк электродиализ% акк электролиз% акк ионный обмен
|
|
|
|
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.
Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается копирование
материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору
|
