 |
|
|
12.МБ.274. Процесс извлечения и концентрирования галоидуглеводородов из потока отходящих газов
Process for removing and recovering halocarbons from effluent process streams. Пат. 6030591 США, МПК7 C 01 B 7/00. ATMI Ecosys Corp., Glenn M. Tom, H. Eric Fisher, W. Karl Olander. № 09/002519; Заявл. 02.01.1998; Опубл. 29.02.2000; НПК 423/240. Англ.
Патентуется процесс очистки отходящих газов произ-ва полупроводников от газообразных галогенсодерж. орг. соед., напр., перфторэтилена, перфторэтана, трифторметана, CF4, а также SF6 или их смесей. Кроме этих в-в в отходящих газах могут содержаться побочные газообразные продукты хим. р-ций: HCl, SiH2Cl2, SiHCl3, SiCl4, NH3, BCl3, HF и др. Конц-ия галогенсодерж. и др. газов может быть в пределах от 0,01% до 5% от веса отходящих газов. Процесс очистки включает стадии: отделение в скруббере побочных продуктов, присутствующих в отходящих газах; отделение и концентрирование, по крайней мере, одного галогенсодерж. соед. Процесс скруббирования (влажного, сухого, каталитич. окисления) выбирается в зависимости от физ. и хим. св-в побочных продуктов; отделение и концентрирование галогенсодерж. соед. может осуществляться путем применения криогенных процессов, мембранной технологии и/или АД. Дана краткая х-ка методов скруббирования, криогенного разделения и концентрирования галоидуглеводородов.
Ключевые слова: акк газы отходящие очистка% акк полупроводники% н произ-во% акк галогеноуглеводороды% н выделение% к концентрирование% акк сера гексафторид% н выделение% акк окисление% н влажное, сухое, каталитич.% акк криогенная техника% акк мембранная технология% акк адсорбция
|
|
|
|
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.
Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается копирование
материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору
|
